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半导体级过滤:海普折叠过滤膜如何保障电子特气与超纯水纯度?

更新时间:2025-11-28 点击量:15

在纳米级别的芯片制造世界中,一颗比人类头发丝细小数百倍的颗粒物,就足以导致整个电路短路,造成巨大的财务损失。因此,对电子特性和超纯水 纯度的追求,是半导体工厂的核心任务。折叠过滤膜正是在这些“生命线"工艺中守护纯净的关键屏障。

颗粒物影响芯片良率

气体中的颗粒物:会导致晶圆表面产生缺陷,影响光刻、刻蚀和薄膜沉积的精度。

超纯水中的颗粒物:在清洗环节若残留颗粒,会直接附着在晶圆上,导致线路短路或开路。

半导体制造对杂质控制达到了原子级别。海普折叠过滤膜在以下环节扮演着“净化卫士"的角色:

折叠过滤膜在半导体行业中的应用场景

1. 电子特气过滤:从源头杜绝污染

半导体制造需要使用上百种高纯度、高价值的特种气体。海普高性能折叠过滤膜被安装在气瓶出口、阀门和工艺工具入口等关键点:

 

Ø 高效去除颗粒物:能有效过滤掉0.01微米甚至更小尺寸的颗粒。

Ø 低析出、低释气:采用半导体级材料,确保自身不会向高纯气体中释放金属离子或有机污染物,避免二次污染。

Ø 能耐受腐蚀性、易燃易爆的特种气体,保障生产安全。

 

2. 超纯水系统终端抛光过滤

在经过反渗透、EDI和紫外线杀菌后,超纯水在进入工艺设备前,需要经过一道“精雕细琢"。海普通量折叠滤芯在此环节至关重要:

Ø 深度去除水中残留的胶体、硅颗粒和细菌尸体。

Ø 极低的溶出物:滤芯经过严格的超纯水清洗和包装,确保其不会向水中释放任何离子或有机物,保障水质稳定在18.2 MΩ.cm

Ø 高通量设计:满足芯片厂连续、大量的用水需求。


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